日本小坂KOSAKA 輪廓儀|輪廓形狀測定機(jī)EF651D
日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測定機(jī)EF651D特點(diǎn)
★ 采用數(shù)字式傳感器、執(zhí)行高精度的輪廓形狀評(píng)價(jià)。
★ 多種解析功能：方位向量解析、滾珠螺桿解析、非球面解析。
★ 測定資料圖表可自由編組表格。
日本小坂KOSAKA 輪廓儀 | 輪廓形狀測定機(jī)EF651D產(chǎn)品參數(shù)
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測定范圍
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Z:60mm X: 100mm
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測定精度
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士(0.8+2H/100)um
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觸針/測定力
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R25um 30mN以下
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測定角度
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上坡77° 下坡87°
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解析
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要素解析/方位向量/MASTER比較/ 滾珠螺桿/非球面解析
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分解能
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Z:0.025um
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直線度精度
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1.0um/100mm
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